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장비 및 시설 기본정보
기판세정기(수용액크리너)
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 에프엔에스테크(Fnstech) |
| 모델명 | 모델명 없음 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2008-07-10 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 전자부품연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C502 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 1.특징 본 연구 장비는 Detergent(중성 및 알칼리 세정제)를 이용한 Glass 기판 표면 Cleaning을 하는 장비로 UV 세정부터 최종 IR 건조까지 Full Auto 방식의 Conveyer system이다.2. 구성 및 성능 구성 :Loader→E-UV bath→DI water shower bath→Detergent shower bath→DI water shower bath→ Aqua jet bath→Final Rinse bath→Air Knife(Dry) bath→IR dry→ Unloader 성능 : - Glass size : 370*470(mm)*0.5T - 자동화된 전공정 수행 - 세정능력 : 3㎛이하 - 공정능력: 700장/월3. 주요 용도 - OLED 면광원 디바이스의 초기 Glass 기판 cleaning 및 성막전 전처리 공정 - OPV(Organic Photovoltaic) 디바이스의 초기 Glass 기판 Cleaning 공정 - Glass 기판으로 한 태양전지 Glass 기판 cleaning 및 성막전 전처리 공정 |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201101/.thumb/20110119111733.JPG |
| 장비위치주소 | 전북 전주시 덕진구 팔복동2가 820번지 전자부품연구원 나노기술집적센터 1층 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2009-10-075328 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0014390 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |