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장비 및 시설 기본정보
플라즈마 클리너
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 제이하라 |
| 모델명 | JAGMLION |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2016-02-03 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 기초과학연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | B0 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | ■ 고 진공 Chamber 내에 생성된 Plasma로 시료 표면 및 Holder의 오염물질을 깨끗하게 제거 ■ 표면 분석 시 더욱 선명한 이미지와 향상된 분석결과를 산출할 수 있도록 함 ■ Oil Contamination Free, Mass Flow Controller(MFC)에 의한 반응성 가스, Turbo Molecular Pump를 사용한 고 진공 공정 ■ GUI를 이용한 Full Auto Operation ■ |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201607/2016070618018129.jpg |
| 장비위치주소 | 기초과학연구원 자연과학동(E6-3) |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2016-07-210956 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0061663 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |