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장비 및 시설 기본정보
복합고주파 마그네트론 스퍼터링 시스템
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 코리아바큠테크(Korea Vacuum Tech) |
| 모델명 | KVS-4000L |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2016-02-04 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국원자력연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C500 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 1. 판재 및 관재 코팅을 위해 2개의 process chamber 로 구성이 되어 있으며, 4inch 원형 target과 550 mm x 100 mm 사각 target을 sputtering 하여, 산화물, 금속 등 다양한 재료의 균질한 코팅이 가능함 |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201602/20160212172633544.jpg |
| 장비위치주소 | 한국원자력연구원 제3연구동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2016-02-207741 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0061005 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |