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장비 및 시설 기본정보
나노팹 유기가스 흡착탑 시스템 구축
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | (주)에프테크 |
| 모델명 | ACT 50 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2016-02-04 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국표준과학연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | B0 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | -장비설명,공용팹 클린룸내에 photo-litho와 e-beamlitho에 광감광제,전자빔감광제의 도포 및 열처리, 식각,제거 등의 공정에서 나오는 유기폐가스는 유해 기체로 사람이 장기적으로 접촉하거나 흡수하면 신경계통 및 혈액기능에 위험을 가져다 줄 수 있고 공기중에 과다량 방출하게되면 환경오염을 일으킬 수 있음. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201602/2016021510151840.jpg |
| 장비위치주소 | 한국표준과학연구원 계측기기동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2016-03-208057 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0060781 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |