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장비 및 시설 기본정보
글로브박스
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 고려기연 |
| 모델명 | KK-011-AS |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2016-01-22 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 대구경북과학기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C604 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 금속 및 비금속과 같은 재료를 진공 중에서 가열, 증발 시켜서 이를 피착물에 나노 스케일로 증착시킬 수 있도록 고진공을 유지시키기 위한 장비로서, 유기태양전지의 전극으로 사용되는 Al, Ag, LiF, MoO3 등의 고진공 증착을 목적으로 사용됨. 확장성을 고려하여 Thermal Evaporation과 향후 E-beam, sputter system을 docking할 수 있기 때문에 폭넓은 process 구현이 가능. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201604/2016041293345677.png |
| 장비위치주소 | 대구경북과학기술원 E2 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2016-04-209094 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0060771 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |