- HOME
- 홈페이지 이용안내
장비 및 시설 기본정보
프로파일러
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Bruker |
| 모델명 | Dektak XT |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2012-12-20 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국전자통신연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | F202 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 화합물반도체 공정 중 웨이퍼 표면 상태를 측정하는 장비로서 주로 식각이나 감광막 패턴 등과 같은 작업이 이루어 지고 난 후 그 단차를 측정하는 용도로 많이 이용되고 있다. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201307/20130704103453165.JPG |
| 장비위치주소 | 한국전자통신연구원 4동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2013-07-180854 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-ETRI-00044 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |