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장비 및 시설 기본정보
불화가스농축장치
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 일해시스템 |
| 모델명 | 모델명 없음 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2012-03-09 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국화학연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C612 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 기능 - 저농도 불화가스에 대하여 장비에 구성된 분리막 모듈에서 N2 Air 불화가스에 선택도에 따라 투과부와 배출부로 분리되어 농축됨. 상압과 진공의 압력차를 Driving force로 하여 유입부의 압력이 0.01bar 이하로 유지 가능 - 본 장비는 기존 막분리공정에서 쓰였던 가압방식이 아닌 진공방식으로 이루어진 불화가스 농축장치로써 막모듈에 가압을 driving force로 하였던 기존에 시스템과 다르게 진공으로 driving force를 준다는 점에서 차이가 있음. 이 system의 경우 전단부에 다른 공정에 지장을 주지 않는 시스템으로 반도체 및 LCD공정에서 배출되는 불화가스 농축에 효과적일 것으로 기대됨. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201204/20120406204613.JPG |
| 장비위치주소 | 한국화학연구원 3연구동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2012-04-161698 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0032800 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |