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장비 및 시설 기본정보
세정장비(플라즈마)IHP-1000
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 에이피피 |
| 모델명 | IHP-1000 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2009-02-06 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 호서대학교 산학협력단 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C502 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 플라즈마를 이용하여 유기물 또는 먼지 등을 제거하는 장비이다. 유기물은 주로 탄화수소가 서로 고리형태로 연결괴어 있는데 대기압 플라즈마 장치에서 발생되는 라디칼들이 그 고리를 끊어서 유기물을 분해시키는 작용을 통해 유기물을 제거한다. 아르곤 같은 불활성 가스의 경우 활성화된 이온들이 표면을 때리게 되고 그로 인해 작은 양의 물질들이 제거된다. 산소와 같은 활성가스의 경우 이온이 때리는것 뿐만 아니라 화학 반응도 일어나게 된다. 결과적으로 유기화합물등과 잔여물 들이 휘발됨으로써 제거가 된다. 플라즈마 발생장치 loader buffer cleaning zone unloader buffer 본 장비는 세정 장비로서 각종 반도체 전처리 공정이나 디스플레이 관련 세정 및 전처리 작업에 활용이 가능하다.1. 플라즈마 발생장치 2. Operating loader cleanin zone 3. LCD Monitor 4. 랙마운트 5. Ar 가스 6. O2가스 로 구성 loader buffer cleaning zone unloader buffer 본 장비는 세정 장비로서 각종 반도체 전처리 공정이나 디스플레이 관련 세정 및 전처리 작업에 활용이 가능하다.반도체 세정 및 전처리 디스플레이 패널 세정및 표면처리 1. 플라즈마 발생 장치는 대기압 내에서 가스를 분사시키고 전계를 주어 플라즈마를 형성하는 장치 2. Operating loader는 세정 또는 전처리할 대상을 레버조작을 통하여 옮겨 주는 장치로서 모터 와 컨베이어 벨트 모터드라이브 clean zone 등으로 구성 3. LCD Monitor는 조작상태 입력 출력값을 표시해줌 4 랙마운트는 cooling fan 에어필터 드라이브베이 USB포트 등으로 구성되어 있음 5. Ar가스는 플라즈마를 발생시키기위해 필요한 가스 6. O2가스는 표면처리를 위한 분위기조성 가스로 사용 |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201207/.thumb/20120705112921.jpg |
| 장비위치주소 | 충남 아산시 배방읍 세출리 호서대학교 학생창업보육센터 호서대학교 학생창업보육센터 CleanroomA 1층 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2012-07-166492 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0033868 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |