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장비 및 시설 기본정보
고진공모듈
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 제스트 |
| 모델명 | 모델명 없음 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2014-07-29 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국표준과학연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C610 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 저 농도플라즈마 세척 장비를 위한 진공모듈 VACUUM VALVE - Throttle Valve & Conroller - Gate Valve - Fore line valve (Angle Valve) - Roughing line valve (Angle Valve) |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201408/2014082111026593.jpg |
| 장비위치주소 | 한국표준과학연구원 물리동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2014-09-191158 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0044717 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |