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장비 및 시설 기본정보
16B 양면 DMP장비
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 트리플에스 |
| 모델명 | 모델명 없음 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2013-12-03 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국생산기술연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C105 |
| 표준분류명 | 분석 |
| 시설장비 설명 | ○ 16B 캐리어 5개 동시 장착가능 양면 DMP 장비 - 6인치 웨이퍼 20장 혹은 4인치 웨이퍼 40장 이상 동시 연마 가능할 것 - Work Holder Size: PCD423.3(mm),DP12,Z200 × 5ea - 정반 직경: PCD423캐리어 적재 가능직경(상하정반 외경 1,140mm이상) - 4인치 40장 동시 연마 가능(5캐리어 x 8장/캐리어) - 6인치 20장 동시 연마 가능(5캐리어 x 4장/캐리어) |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201712/20161026112653_20131212000000169165 NFEC-2013-12-184326.jpg |
| 장비위치주소 | 102호 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2013-12-184326 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0048740 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |