| 시설장비 설명 |
1) Se 공급 열처리 장치 (Se two zone RTP) 일반사양 내부규격 : 720∮ * 230L mm + 62∮ * 300Lmm 입력전원 : 220V단상 용 량 : 26KW 사용온도 : 1000℃ - RAMP SPEED : 1200℃ /2min - 온도정확성: ±1℃@ 1000℃ Gas : Ar N₂ 발 열 체 : IR 히터 -1ZONE 칸탈(KANTHAL A-1 C.F.B) HEATER - 2ZONE (Se source 증발용 그라파이트(graphite) 제작) 온도제어 : 프로그램 PID 컨트롤러 온도 균일도 : 5% 이내 2)2S 공급 열처리 장치 (H2S RTP) 일반사양 내부규격 : 62∮ * 230L mm 입력전원 : 220V단상 용 량 : 22KW 사용온도 : 1000℃ RAMP SPEED : 1200℃ /2min 온도정확성: ±1℃@ 1000℃ Gas : H2S Ar N₂ 발 열 체 : IR HEATER 온도제어 : PROGRAM PID CONTROLLER 온도 균일도 : 5% 이내 3) mr N2 공급 열처리 장치 (Ar N2 RTP) 일반사양 내부규격 : 62∮ * 230L mm 입력전원 : 220V단상 용 량 : 22KW 사용온도 : 1000℃ RAMP SPEED : 1200℃ /2min TEMP ACCURACY: ±1℃ AT 1000℃ Gas : Ar N₂ 발 열 체 : IR HEATER 온도제어 : PROGRAM PID CONTROLLER 온도 균일도 : 5% 이내 |
