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장비 및 시설 기본정보

습식스테이션

장비 개요

기관명, 장비번호, 제작사, 모델명, 장비사양, 취득일자, 취득금액 순으로 구성된 표입니다.
기관명 ZEUS
장비번호
제작사 태창 엔지니어링
모델명 모델명 없음
장비사양
취득일자 2009-08-16
취득금액

보유기관 및 이용정보

보유기관명, 보유기관코드, 활용범위, 활용상태, 표준코드, 표준분류명, 시설장비 설명, 장비이미지코드, 장비위치주소, NFEC 등록번호, 예약방법, 카타로그 URL, 메뉴얼 URL, 원문 URL, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
보유기관명 (주)엔디스
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드
표준분류명
시설장비 설명 본 장비는 LCD 패널 제조 공정 중 기판 및 각종 부품을 세정 할 수 있는 장치이다.
장비의 제원은 1500(L) x 800(W) x 1820(H)이다.
구성은 Dipping이 가능한 세정조가 2개 있으며 내부에 DI를 이요한 spray 세정 장치가 포함되어 있다. Dipping 세척수의 공급 및 배수 spray 세정수의 배수는 수동 밸브로 작동되며 spray 세정은 foot switch로 작동이 가능하다.
그리고 간단히 이물질 제거및 세정이 가능한 sink 존이 2개 있고 세척수 공급은 수동 밸브로 작동이 가능하다.
그래고 장비 내부에 DI gun 2개 N2 gun 2개가 설치 되어 있으며 형광등 및 배수구가 설치되어 있다. 주로 LCD 패널 세정용으로 사용되며 다른 연구개발시 세정용도로 사용된다.
장비이미지코드 http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201102/.thumb/20110218172703.jpg
장비위치주소 충남 아산시 배방읍 호서대학교 호서벤처밸리 108호
NFEC 등록번호 NFEC-2011-02-144036
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0028421
첨부파일

추가정보

과학기술표준분류, ICT 기술분류, 주제어 순으로 구성된 표입니다.
과학기술표준분류
ICT 기술분류
주제어 (키워드)