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전극라인기능테스터기

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보유기관명	모젬
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	D101
표준분류명
시설장비 설명	부품소재기술개발사업 MOBILE 통신기기용 일체형 Touch window ITO 센서저항계측및 분석 장비 저온 공정 및 균일한 박막을 성장시킬 수 있는 Sputter법을 적용하여 전기적특성 및 접착성이 우수한 SiO2 투명 무기층과 PTFE 투명 유기물 버퍼층 개발 완료를 위한 분석장비 양산적용 활용목적 Ultra slim Touch window 제작을 위한 선행연구 다층 박막 구조의 버퍼층 사이에 이중 투명막 저항 측정 대체재료로 TCO 개발이 많아지고 기술 확보의 목표로 터치 스크린패널에 이용하고자 개발하게 되었고 본과제의 적용중인 대체 투명전극으로써 GZO는 ZnO의 산화물에 Ga이 도핑 되어진 것으로 ITO의 단점인 플라즈마에 대한 안정성과 공정상 용이한 etching특성을 확보를 위한 실험 중 필요한 장비임
장비이미지코드	http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201102/.thumb/20110218195359.JPG
장비위치주소	인천 남동구 고잔동 705-4 남동공단 133B-6L
NFEC 등록번호	NFEC-2011-02-144472
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0028480
첨부파일

기업조회