레이저 식각기
기관명 | ZEUS |
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장비번호 | |
제작사 | RPMC Lasers |
모델명 | ML20-PL-R-OEM |
장비사양 | |
취득일자 | 2009-08-19 |
취득금액 |
보유기관명 | 한국과학기술연구원 |
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보유기관코드 | |
활용범위 | |
활용상태 | |
표준코드 | C510 |
표준분류명 | |
시설장비 설명 | 특징 매질과 출력 단자로 광섬유를 사용하여 초고출력 레이저를 생성하여 물질에 음각 식각이 되는 원리 주로 태양전지의 TCO 기판 (ITO FTO 기판 등등)을 절연할 때 사용합니다. 레이져 파장 1024 nm를 사용하며 레이져의 초점 및 속도 조절이 가능하고 램프가 움직이며 공정 진행하는 방식이기 때문에 최대 1초당 1000 mm 속도로 공정 속도가 매우 빠르고 소음 발생이 적습니다.구성 및 성능 Fiber Laser System활용분야 태양전지 제작에서 광활성층의 면적을 정의하기 위하여 나머지 부분의 Transparent Conducting Oxide를 식각하여 제거함. |
장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201112/.thumb/20111201133616.jpg |
장비위치주소 | 서울 성북구 하월곡동 39-1 한국과학기술연구원 L7 4층 7416 |
NFEC 등록번호 | NFEC-2009-09-072215 |
예약방법 | |
카타로그 URL | |
메뉴얼 URL | |
원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0013792 |
첨부파일 |
과학기술표준분류 | |
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ICT 기술분류 | |
주제어 (키워드) |