| 시설장비 설명 |
고출력 엑시머 레이저는 Laser MBE(Molecular Beam Epitaxy)에 필수적인 장비로서 성장하려는 물질(target)에 조사되어 ablation이 일어나게 하는 역할을 한다. KrF와 할로겐 물질이 섞여있는 기체를 이용하여 발진을 한다. 레이저의 파장은 248 nm 이며 펄스당 에너지는 800 mJ 이다. 초당 최대 10 펄스를 만들어 낼 수 있어 최대 출력 에너지는 8 W 에 달한다. 레이저 발진을 위한 가속 에너지는 18 ~ 27 kV의 영역을 가지고 있어 원하는 파워로 가속이 가능하다. 그리고 레이저의 파장이 눈에 보이지 않는 자외선이기 때문에 정렬의 어려움이 있을 수 있는데 이를 해결하기 위하여 정렬 레이저(He-Ne)를 설치할 수 있도록 되어있어 정렬이 용이하다. 1대 이상의 PLD 챔버에 활용할 수 있도록 광학계가 구성되어 있어 공동활용이 가능하다. 특징 Ar F 등의 혼합개스를 이용하여 최대출력 0.7 J 10 Hz 로 240 nm 대역의 고출력 레이저 생성 |
