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장비 및 시설 기본정보
금속 습식식각장비
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 창신테크 |
| 모델명 | 모델명 없음 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2016-01-18 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 대구경북과학기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C503 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | - 소자 공정에 기본적으로 사용되는 장비로서 기판의 금속박막 식각, 세정, 등의 실험을 수행할 수 있음 - 장비의 내부에 일정공간의 working area를 확보 하고 있어 연구용실험에도 용의함. - 화학 약품을 사용하며, heating 등의 기능을 사용하기 때문에 사용자의 안전을 위하여 다향한 inter-lock을 구성하였음. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201602/2016021695340183.png |
| 장비위치주소 | 대구경북과학기술원 중앙기기센터 205 소자클린룸 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2016-04-209170 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0060327 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |