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광배향 광조사장치

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보유기관명	(주)엔디스
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	D107
표준분류명
시설장비 설명	본 장비는 LCD 재조 공정 중 두장의 기판의 일정한 공간을 형성하기 위해 한쪽 기판에 일정한 크기의 spacer를 분산하게 되는데 이 spacer를 일정 사이즈의 기판에 균일하게 도포하기 위한 장치 이다. 구성은 기판을 로딩할 수 있는 스테이지와 스페이서가 균일하게 산포되는 노즐 일정한 온도를 유지시켜주기 위한 히팅 챔버로 구성 되어 있다. 기판은 100x100 200x200 mm 사이즈만 공정가능하며 분산 압력 및 노즐의 개폐정도에 의해서 분산되는 spacer의 량을 조절 할 수 있다. spacer는 별도로 구매해서 일정량을 DI IPA와 같은 용액과 혼합하여 사용하는 WET 공정 장비 이다. 현재 클린룸 내부에 설치되어 있으며 양산을 목적으로 구매를 하였고 현재 연구개발용으로 사용하고 있다.
장비이미지코드	http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201102/.thumb/20110218153840.jpg
장비위치주소	충남 아산시 배방읍 호서대학교 호서벤처밸리 108호
NFEC 등록번호	NFEC-2011-02-143843
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0028313
첨부파일

기업조회