| 보유기관명 |
대구경북과학기술원 |
| 보유기관코드 |
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| 활용범위 |
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| 활용상태 |
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| 표준코드 |
D102 |
| 표준분류명 |
계측 |
| 시설장비 설명 |
- Measuring method : contacted method by 4-point probe - Loading and measuring for max. 200mm wafer or 140x140 mm square substrates - Sheet resistance(ohm/sq) measurement - Resistivity(ohm·cm) is measured when knowing the thickness and the purity of the measured conductive materials - Auto and manual measurement - Operating by stand-alone and PC with operating software - Versatile data analysis functions(contour/3-D map etc.) |
| 장비이미지코드 |
http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201712/20160920152055_20130228000000160879 NFEC-2013-03-176593.jpg |
| 장비위치주소 |
대구경북과학기술원 중앙기기센터 205 소자클린룸 |
| NFEC 등록번호 |
NFEC-2013-03-176593 |
| 예약방법 |
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| 카타로그 URL |
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| 메뉴얼 URL |
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| 원문 URL |
http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-201812171137 |
| 첨부파일 |
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