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장비 및 시설 기본정보
집속이온빔 시스템
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 에프이아이코리아 주식회사 |
| 모델명 | Scios |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2016-02-23 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국기초과학지원연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | A200 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 집속이온빔장치는 액체금속이온 소스(Liquid Metal Ion Source, LMIS)로부터 발생하는 이온빔을 고전압의 전계를 가하여 집속하고 편향코일을 조절하여 재료표면에 주사해서 TEM 시편가공, 증착, 화상 구현 등의 기능을 수행하는 장비로 전자 현미경관찰을 위한 반도체, 세라믹, 다층박막, 복합재료, 금속/합금재료 등의 다양한 분야의 시료를 제작하는데 사용하는 장비 |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201607/201607299545531.JPG |
| 장비위치주소 | 한국기초과학지원연구원 대구센터 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2016-02-207979 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-KBSI_DGC-00117 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |