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장비 및 시설 기본정보
금속습식세정장비
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Seunghyun |
| 모델명 | 모델명 없음 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2013-01-31 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 대구경북과학기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C502 |
| 표준분류명 | 분석 |
| 시설장비 설명 | 각종 소자(센서 FET 등) 제작 시 기판의 패턴 형성 세정 메탈 습식 식각을 할 수 있는 장비로서 소자 제작 시 기본적으로 필요한 필수 장비임. 각 Bath 별 약품이 구분 사용하여 용도에 맞게 실험을 이용함. |
| 장비이미지코드 | https://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201306/20130609162732538.jpg |
| 장비위치주소 | 대구경북과학기술원 중앙기기센터 205 소자클린룸 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2013-06-179874 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | https://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-201812171071 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |