보유기관명 |
한국기계연구원 |
보유기관코드 |
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활용범위 |
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활용상태 |
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표준코드 |
A400 |
표준분류명 |
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시설장비 설명 |
발생된 X-ray의 에너지 파장대에 따라 분석대상 시편에 조사하고 방출되는 에너지를 분광분석하여 해당 시편의 원소 성분을 분석하는 장비. Compact 한 장비로 정량/정성분석이 가능한 EDS.LN2-Free Xflash Detector 최적 에너지 resolution <133eV (Mn Kalpha) at 100K cps (-25oC). 최대 input count rate 150K 최대 active area 10mm^2물질 표면의 미량 원소분석/point line 및 area 영역에 대한 상세분석을 통해 플라즈마 공정 박막증착 촉매 제조 및 반응부산물 등의 물성 분석을 위한 정량/정성 분석 시스템. |
장비이미지코드 |
http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201401/.thumb/2014011013526778.JPG |
장비위치주소 |
대전 유성구 장동 171 한국기계연구원 연구3동 2층 211 |
NFEC 등록번호 |
NFEC-2014-01-184956 |
예약방법 |
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카타로그 URL |
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메뉴얼 URL |
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원문 URL |
http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0041213 |
첨부파일 |
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