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장비 및 시설 기본정보
이온 밀러
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Veeco |
| 모델명 | Ion beam source |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2014-03-26 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국과학기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | B105 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 상기 장비는 박막으로 증착된 물질을 소자로 제작하는데 필요한 식각 장비인 이온 밀러에서 플라즈마 이온을 생성하는 소스 장비이다. 이온 밀러는 박막 물질의 종류에 상관없이 식각할 수 있는 장비로 다양한 소자 제작에 이용할 수 있다 |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201302/20130214192223875.jpg |
| 장비위치주소 | 한국과학기술원 응용공학동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2013-02-176040 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0037423 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |