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장비 및 시설 기본정보
유리기판정밀절단장비
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 피티엘코리아 |
| 모델명 | NEOGSM-470T |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2009-10-12 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 경북대학교 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C107 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 1. 초경합금 휠(wheel) 커터 구름방식에 의한 유리 기판 절단 2. 자동 제어기에 의한 직선 및 곡선 절단 자동 작업 3. 제어 기구 : motor와 볼스크류에 의한 정밀 제어 4. wheel 이동 작업 속도 : 최고 300 ㎜/sec 이상 5. 기판 : 0.5 - 2.0 mm Sodalime glass 6. 기판 사이즈 : 200*200 mm2 370*470 mm2 7. Scribing 정밀도 오차 (직선 곡선) : ± 50 ㎛ 이하 8. Aligner - color CCD microscope vision system builtin illumination - Align 정밀도 : ± 50 ㎛ 이하 9. Stage - movable working accuracy ± 100㎛ 이하 - vacuum glass fixing - flatness ± 50 ㎛ 이하 |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201108/.thumb/20110831115511.jpg |
| 장비위치주소 | 대구 북구 산격3동 경북대학교 경북대학교 경북대학교 IT 4호관 2층 206 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2010-12-118454 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0019274 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |