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장비 및 시설 기본정보
나노스펙
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 케이맥(K-MAC) |
| 모델명 | ST-4000-DLX |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2008-11-13 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 부산테크노파크 MEMS/NANO부품생산센터 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | F202 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 구성및성능 - 측정 가능한 박막의 종류 : 실리콘 산화막 질화막 폴리실리콘 Posi/Nega 포토레지스트 3층 이하의 적층 박막에서 최상층박막 - 측정범위 : 100Å∼25um - 측정가능 패턴 사이즈 : 50um Diameter 이상의 Pattern - Lamp : 390∼800nm 대역의 텅스텐 Lamp(6V/15W) - Microscope & Objectives : 10X Objective . Up to 150mm Stage 150mm Standard Wafer활용분야 : 섬유 및 산업자재 |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201101/.thumb/20110121144338.jpg |
| 장비위치주소 | 부산시 금정구 장전동 산30번지 부산대학교내 MEMS/NANO부품생산센터 부산대학교 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2010-12-118019 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0019111 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |