| 기업공감원스톱서비스

세정기

보유기관명, 보유기관코드, 활용범위, 활용상태, 표준코드, 표준분류명, 시설장비 설명, 장비이미지코드, 장비위치주소, NFEC 등록번호, 예약방법, 카타로그 URL, 메뉴얼 URL, 원문 URL, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
보유기관명	티피에스
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	C500
표준분류명
시설장비 설명	반도체 Wafer 표면 등에 부착된 연마제와 기타입자 불순물 등 세정작용 (1) Bath 재질 : Qurtz (산세정 Hot distilled water) CPVC (W/L 샤워조) (2) 전원 : 380V 3P 15kW (3) 배기 : 150A 2Port (4) 산 세정조: -정량 공급을 위한 펌프 정량 탱크 설치 -자동 공급 장치 설치 -W/L과 알칼리세정조 사이에 차단막 설치 (산세정시 흄발생 차단) (5) 알칼리 세정조 : -SUS 304E 사용 -진동자 40khz 600W 설치 -순환구조 및 필터링 시스템 -Heater 설치 2kw (6) 기타 : -SS41 분체 도장 -Transfer unit -PLC사용 (터치스크린) -SMC sol V/V & 레귤레이터 사용 -고압펌프 사용
장비이미지코드	http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201102/.thumb/20110218171642.jpg
장비위치주소	대구 달서구 갈산동 1 ~195 193 (주)티피에스
NFEC 등록번호	NFEC-2011-02-144000
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0028416
첨부파일

기업조회