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장비 및 시설 기본정보
반도체 패러미터 분석기
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Agilent Technologies |
| 모델명 | B1500A |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2006-09-25 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국전자통신연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C514 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 특징 사용자가 지정한 전압 및 전류를 출력하여 반도체 소자에 공급하며 반도체 소자의 출력단으로부터 방출되는 전압 및 전류를 측정함. 반도체 소자의 전기적 특성 측정 및 파라미터 추출용임. IV 및 CV 측정 가능. 모듈의 추가를 통해 기능을 추가할 수 있음.구성및성능 구동 온도 범위: 3-45oC AC Voltage Requirement: 80-270V Line Frequency Requirement: 45-65Hz Maximum Force Voltage: 100V Maximum Force Current: 100mA Voltage Measurement Resolution: 1uV Current Measurement Resolution: 1fA 4개의 채널을 구비하여 반도체 소자 측정이 가능하며 C-V를 측정할 수 있는 모듈이 추가되어 있어 C-V C-f 측정이 가능함. 측정시 전압 인가 범위는 +-100V이며 전류의 측정 범위는 1pA이상임.활용분야 PRAM 소자 특성 평가 MOS 트랜지스터 특성 평가 저항 측정 C-V 분석 신뢰성 평가 광특성 평가 펄스 분석 회로 평가 TFT측정시 활용이 가능함. 예를 들어 transfer characteristics를 측정하기 위하여 VG를 Scan하면서 VD를 순차적으로 인가할 수있음. Output Characteristics를 측정하기 위해서는 VD를 Scan하면서 VG를 순차적으로 인가할 수 있음. |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201109/.thumb/20110914130915.jpg |
| 장비위치주소 | 대전 유성구 가정동 한국전자통신연구원 161 한국전자통신연구원 4동 3층 315 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2006-10-020959 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0016933 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |