- HOME
- 홈페이지 이용안내
장비 및 시설 기본정보
나노 정밀 레이저가공 시스템용 에어베어링 스테이지
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | areotech |
| 모델명 | ABL15020 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2013-11-26 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 광주과학기술원 고등광기술연구소 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C311 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 초정밀 고속 가공이 가능하고 펄스 폭을 변경 시킬 수 있는 레이저를 이용하여 가공 및 물질의 특성 연구를 진행함. 연구에 사용되는 레이저는 펄스 폭을 변경할 수 있도록 개발한 레이저를 사용함. 본 장비는 레이저를 이용한 연구를 위해 수 나노미터 이동이 가능한 초정밀 stage 동작 및 운영을 위해 사용됨.Nano precision airbearing stage - Travel : X=200mm Y=200mm Z=100mm - Guide : Orifice Air Bearing for XY Axis Linear Motion Guide for Z Axis - Accuracy : +/-500nm for X and Y +/-1um for Z - Repeatability :+/-200nm for X and Y +/-0.5um for Z - Resolution :1nm for XY 500nm for Z - Straightness & flatness : +/-500nm for XY +/-1um for Z - Pitch/Roll/Yaw : +/-2 arc sec for XY 8 arc sec for XY - Maximum Travel speed :2m/s (No payload) - Maximum Linear Acceleration :2g (No payload) - Maximum Travel speed :300mm/s (about 10Kg payload) - Maximum Linear Acceleration :0.25g (about 10Kg payload) - Maximum Load : 35Kg레이저 가공 연구를 위해 수 나노미터 이동이 가능한 초정밀 스테이지 임. - 초정밀 가공 연구 (수 um 이내의 미세 패턴 가공을 위한 스테이지 이동) - 초정밀 측정 (수 um이내의 가공물의 크기/미세패턴을 정밀하게 측정) |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201312/.thumb/20131223164044446.jpg |
| 장비위치주소 | 광주 북구 오룡동 광주과학기술원 1 광주과학기술원 극초단 광양자빔 특수연구동 1층 113 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2013-12-184530 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0041614 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |