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장비 및 시설 기본정보
초미세 이온선 장치
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Oxford Microbeams Limited |
| 모델명 | 모델명 없음 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2013-10-29 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국과학기술연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | A400 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 수 MeV proton beam을 300 x 450 nm spot size 50pA beam current로 집속하여 3차원 미세패턴가공이나 극미세분석을 수행할 수 있는빔 집속 및 분석 장치임. 첨단 나노재료 및 소재의 미세분석이 크게 요구되어지는 연구가 많아지고 있는 상황으로 입사이온빔을 수백 나노크기의 집속이온빔으로 만들어 시료에 입사하여 이온-고체 반응에 의해 방출되는 산란이온 x-선 형광 등을 측정하면 나노재료 및 소재 시료의 극미세 표면분석을 수행할 수 있음. 6MV 중형이온빔 가속기에 설치되는 4개 빔라인 중 하나로 수 MeV proton beam을 300 x 450 nm spot size 50pA beam current로 집속하여 3차원 미세패턴가공이나 극미세분석을 수행할 수 있는 이온빔 집속 및 분석 장치로 microbeam PIXE Mmicrobeam RBS 등의 분석기술을 이용해서 나노소재의분석에 사용될 예정인 장비임.Object slit Triplet quadrapole magnet External beam nozzle extension 등으로 구성된 nuclear microbeam system을 이용하여 수 MeV proton beam을 300 x 450 nm spot size 50pA beam current로 집속 가능Microfocused PIXE 집속 이온선 이용 미세패턴 가공 - Life Science : Metal uptake by cells plants etc trace element distribution in tissues single cell irradiation - Material Science : composition of new materials mapping crystal quality using channeling studies of microelectronic devices IBIC composition of magnetic mulyilayers - Environmental Science : analysis of single aerosol fly ash and sediment particles environmental history from trace elemental zoning in shells - Earth Sciences : trace element zoning in rocks trace elements in solid and fluid inclusions surface weathering studies |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201402/.thumb/20140205155151409.jpg |
| 장비위치주소 | 서울 성북구 월곡2동 과학기술연구원 39-1번지 한국과학기술연구원 연구동(L1) 1층 L1134 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2014-02-185638 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0041603 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |