감압 급속 열처리 시스템
기관명 | ZEUS |
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장비번호 | |
제작사 | Konic System(코닉시스템) |
모델명 | RTP600S |
장비사양 | |
취득일자 | 2005-03-08 |
취득금액 |
보유기관명 | 한국전자통신연구원 |
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보유기관코드 | |
활용범위 | |
활용상태 | |
표준코드 | C601 |
표준분류명 | 생산 |
시설장비 설명 | 특징 - Reduced pressure RTP system with Dry pumping system - Semi-auto loading system - Available process - High process & hardware reliability performance - Powerful software |
장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201101/20110117162523.JPG |
장비위치주소 | 한국전자통신연구원 4동 |
NFEC 등록번호 | NFEC-2005-12-043843 |
예약방법 | |
카타로그 URL | |
메뉴얼 URL | |
원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-201812179754 |
첨부파일 |
과학기술표준분류 | |
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ICT 기술분류 | |
주제어 (키워드) |