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장비 및 시설 기본정보
포토닉스 부품 광 특성 평가 진공 증착 시스템
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 코리아바큠테크㈜ |
| 모델명 | KVE-T2000 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2011-11-30 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국기계연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C503 |
| 표준분류명 | 생산 |
| 시설장비 설명 | 금속 및 산화물을 진공내에서 순차적으로 박막증착 할 수 있도록 하여야 하며 특히 증착된 시편의 산화가 없도록 로드락챔버를 구성하고 글로브박스를 통해서 로드락챔버로 시편을 장입 및 반출토록 하여야 한다. 글로브박스 하부에는 추후 ‘쏠라시뮬레이터’ 설치를 고려한 포트가 있도록 구성 (1)진공증착 시스템 시편 : 4인치까지 대응가능 공전 및 수냉 기능 챔버 압력 : 5 x 10E-7 torr 진공도 로드락 챔버와 시편이송장치 전원공급장치 및 컨트롤러 (2)글로브박스 2인용 글로브박스와 분리형 Purifier 로드락챔버 시편 장입 반출용 포트 및 도어 (3)기타 Air Cooled Water Chiller 금속 및 산화물을 진공내에서 순차적으로 박막증착 할 수 있도록 하여야 하며 특히 증착된 시편의 산화가 없도록 로드락챔버를 구성하고 글로브박스를 통해서 로드락챔버로 시편을 장입 및 반출토록 하여야 한다. 글로브박스 하부에는 추후 ‘쏠라시뮬레이터’ 설치를 고려한 포트가 있도록 구성 |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201206/20120625093239.jpg |
| 장비위치주소 | 한국기계연구원 메카트로닉스연구동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2012-06-165577 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-KIMM-00022 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |