| 보유기관명 |
한국원자력연구원 |
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| 표준코드 |
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| 표준분류명 |
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| 시설장비 설명 |
양성자기반공학기술개발사업단(이하 양성자사업단)은 금속 이온빔을 이용하여 나노급 소재표면처리 연구를 하기위한 금속이온주입기를 자체 설계 및 제작을 하였다.금속이온주입기의 구성은 플라즈마 발생부인 이온원 원하고자는 이온의 질량을 선택적으로 인출할수 있는 질량분리전자석 이온광학적 설계를 통해 제작된 가속관으로 입사시키기 위한 슬릿 이온원에서 인출된 이온을 더 높은 전압으로 가속시키기 위한 가속관 이온빔의 모양을 변경할수 있는 전자석 빔의 균일도를 맞추기 위한 정전형 스캐너 빔의 전류밀도를 측정하기 위한 페러데이 컵 등으로 구성된다.
빔의 에너지는 ~150keV 빔의 전류는 ~2mA 최대조사면적은 10cm x 10cm이며 인출가능한 이온의 종류는 Co Fe Mn Cu Zn 등 금속성 이온을 다량 인출 가능하다.금속 이온빔을 이용하여 나노급 소재 표면 처리 연구를 하기 위해 자체 설계 및 제작한 금속 이온 주입기는 의료 환경 에너지 등 초정밀 표면 개질 분야 등에 널리 이용되고 있다. |
| 장비이미지코드 |
http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201101/.thumb/20110126175725.JPG |
| 장비위치주소 |
경북 경주시 건천읍 화천리 미래로 181 한국원자력연구원 양성자가속기연구센터 1층 |
| NFEC 등록번호 |
NFEC-1997-12-036447 |
| 예약방법 |
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| 카타로그 URL |
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| 메뉴얼 URL |
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| 원문 URL |
http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0013135 |
| 첨부파일 |
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