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장비 및 시설 기본정보
진공증착기 (태양전지 제조용 박막 증착 장치)
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 대동하이텍 |
| 모델명 | MHR2 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2010-09-01 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 성균관대학교 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C503 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 1. PROCESS CHAMBER 1 SET -. MATERIAL : SUS 304 -. SIZE : I.D 300 x 450(H) BEL-JAR TYPE -. BEL-JAR ASSEMBLY PNEUMATIC OPEN/CLOSE TYPE . BY PNEUMATIC AIR CYLINDER -. BEL-JAR TOP SIDE FLANGE FOR HEATER & ROTATOR MOUNT PORT : 1 EA . TOP FLANGE OPEN/CLOSE TYPE (MANUAL BY GAS SPRING) -. CF6" FLANGE FOR TURBO PUMP MOUNT PORT : 1 EA -. I.D 6" FLANGE FOR VIEW WINDOW PORT : 1 EA . INCLUDE MIRROR TYPE WINDOW -. CF 2.75" FLANGE FOR GAUGE & THICKNESS SENSOR & ETC : 3 EA -. 1" HOLE FOR THERMAL ELECTRODE MOUNT PORT : 6 EA -. CHAMBER INSIDE SHIED COVER : 1 SET -. CHAMBER ALL ELECTRICAL POLISHING 2. VACUUM PUMPING UNIT 1 SET -. TURBO PUMP & CONTROLLER : 1 SET (ALCATEL BRAND) . PUMPING SPEED : 400 L/Sec(N2) . CF 6" MOUNT FLANGE -. ROTARY VACUUM PUMP : 1 EA (KOREA BRAND) . PUMPING SPEED : 400 L/Min -. CF 6" GATE VALVE (PNEUMATIC GENESIS BRAND) : 1 EA -. NW25 ANGLE VALVE (PNEUMATIC) : 2 EA -. NW25 FLEXIBLE METAL HOSE (1M) : 3 EA -. SOLENOID VALVE FOR ROTARY LINE VENT : 1 EA -. VACUUM DIAGRAM SCHEMATIC CONTROL PANEL WITH SAFETY ALARM (SEMI-AUTO) . PUMP ON/OFF SWITCH & UTILITY SAFETY INTERLOCK 3. SAMPLE ROTATION UNIT 1 SET -. CF 2.75" ROTARY MOTION FEEDTHROUGH : 1 EA FOR SUBSTRATE ROTATION -. ROTATION GEAR & BEARING HOUSING 일체 -. ROTATION SHAFT & SHAFT SUPPORTER & ROTATION BAR -. SUBSTRATE HOUSING & HOLDER : 1 EA . MATERIAL : SUS . SIZE : 110∮ . SAMPLE BACK SIDE MOUNT TYPE -. MAIN SUBSTRATE HOLDER SUPPORT PLATE & LEG : 1 SET -. D.C 90V MOTOR & MOTOR CONTROLLER : 1 SET . MOTOR SUPPORT GUIDE & PLATE . ROTATION SPEED SENSOR & R.P.M METER 내장 (0~30 R.P.M) -. MAIN SUBSTRATE SHUTTER (PNEUMATIC) : 1 SET |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201309/.thumb/20130909133546347.jpg |
| 장비위치주소 | 경기 수원시 장안구 천천동 성균관대학교자연과학캠퍼스 300번지 성균관대학교 자연과학캠퍼스 제1종합연구동 7층 81704 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2011-07-146454 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0029425 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |